夏骄阳老婆的个人资料:LCD生产流程中显影及蚀刻工艺的化学反应!

来源:百度文库 编辑:杭州交通信息网 时间:2024/04/27 23:40:56
刚从事LCD行业,什么都不懂,在LCD前段生产时的显影液是碱性物质如NAOH或KOH,蚀刻液是HCL:HNO3:H2O=61:2:33(好像是这个比例子)的酸性溶液,请问KOH和光刻胶在显影过程中是起什么化学反应,麻烦写下化学方程式,还有蚀刻时酸液和ITO膜起什么反应,还有他的化学方程式,谢谢:)
哎。高手咋还没出现呢?

等待高手出现!

其实起什么反应不重要,重要的是保证产品质量。显影到坚膜再到蚀刻、脱膜,酸刻液浓度比DI水:Hcl:HNO3=1:1:0。085

你问的都是产业业核心技术问题,你问你们主管比较快。