杭州地铁3号线留下站:如何对薄膜加工工艺参数进行计算

来源：百度文库 编辑：杭州交通信息网 时间：2024/05/14 12:55:06
分析设计实现场氧化，栅氧化，多晶硅栅层或掩膜氧化膜等的工艺方法和工艺条件（给出具体温度，时间或流量，速度等），并进行结深验证。
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