杭州交通信息网武汉赠与房产外地户口:谁知道MOS工艺的基本流程？
来源：百度文库 编辑：杭州交通信息网 时间：2024/04/29 04:15:48
MOS场效应管的制作流程。。。你要这个干嘛。。。砸给你 接好了！
??1.将硅单晶切成大圆片，并加以研磨、抛光。
??2.抛光后的片子经仔细清洗后，热生长一层二氧化硅层。（一次氧化）
??3.用光刻技术可除漏、源扩散窗口上的二氧化硅。（一次光刻）
??4.进行选择性的杂质扩散。
??5.去处所有二氧化硅，重新生长一层质量良好的栅极二氧化硅层，并进行磷处理。（二次氧化+磷处理）
??6.刻除漏、源引线窗口上的二氧化硅。（二次光刻）
??7.在真空系统中蒸发铝。（铝蒸发）
??8.反刻电极。
??9.进行合金。
??10.检出性能良好的管芯，烧焊在管座上，键合引线。
??11.监察质量（中测）
??12.封上管帽，喷漆。
??13.总测。
??14.打印，包装。